製品紹介

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純水薬液用ポンプ

製品概要

純水・薬液用のポンプのラインナップは1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力が発生可能です。

ご使用可能な流体は、一般水・純水・IPA・NMP・過酸化水素水・フォトレジストなど多種にわたります。

また、ポンプ吐出ラインの付属品もございますのであわせてご参考にしてください。

MLシリーズ（純水薬液用）一覧表

型番 最高吐出圧
MPa		 倍率 押しのけ量
ml／st		 エアー消費量
NL／分
0.5MPa作動時
MLS-A-20 2 4 37.68 310
MLS-A-75 7.5 16 9.42 310
MLS-A-150 15 32 4.61 310
MLS-A-200 20 44 3.39 310
MLS-A-300 30 64 2.35 310
MLS-C-35 3.5 7 141.3 950
MLS-C-50 5 10 98.12 950
MLS-C-75 7.5 16 62.8 950
MLS-C-150 15 28 35.32 950
MLS-C-200 20 44 22.6 950
MLS-C-250 25 52 18.99 950
MLS-C-500 50 100 10.04 950
MLS-C-1000 100 177 5.65 950
MLS-D-50 5 10 141.3 1200
MLS-D-100 10 22 62.8 1200
MLS-D-300 30 62 22.6 1200
MLS-D-1500 150 298 4.74 1200
MLS-D-2500 250 445 3.17 1200
MLS-E-70 7 13 141.3 1250
MLS-E-150 15 30 62.8 1250
MLS-E-250 25 53 35.32 1250
MLS-E-1000 100 182 12.5 1250
MLS-E-2500 250 484 3.92 1250
MLS-E-3000 300 597 3.17 1250
MLS-2D-5000 500 891 3.17 1600